自2004年中微公司成立以來，尹志堯博士一直擔任公司的董事長兼首席執(zhí)行官。他將自己超過28年的產品開發(fā)和行政管理經驗應用于公司管理，促進了半導體設備行業(yè)的發(fā)展。

成立中微之前，尹志堯博士曾在應用材料公司任職13年，曾擔任公司副總裁、等離子體刻蝕設備產品事業(yè)群總經理、亞洲區(qū)采購副總裁、應用材料亞洲首席技術官等。

尹志堯博士于1984年第一次到硅谷，并加入了英特爾技術發(fā)展中心。1986年，他加入了Lam Research并引領了刻蝕技術的發(fā)展，同時為一些關鍵產品帶來了解決方案。

尹志堯博士于中國科學技術大學獲得了物理化學學士學位，隨后在北京大學化學學院完成了碩士學習。他還獲得了加州大學洛杉磯分校的物理化學博士學位。尹志堯博士曾作為研究組組長就職于中科院。

陳偉文先生現(xiàn)任中微半導體設備（上海）股份有限公司集團副總裁兼首席財務官。在2012年加入中微公司前，陳先生歷任美國上市公司海王星辰和阿特斯太陽能副總裁兼首席財務官，并曾任職于霍尼韋爾國際、普華永道等跨國企業(yè)。多年來，陳先生在財務管理、審計、風險管理、上市公司治理等方面積累了較扎實的經驗。陳先生于1991年畢業(yè)于廈門大學，后留學美國獲阿拉巴馬大學碩士學位。他是注冊會計師。

倪圖強博士在中微擔任資深副總裁。他主要領導用于高端電介質刻蝕的Primo D-RIE和Primo AD-RIE設備的研發(fā)和項目管理，目前著重于刻蝕工藝反應腔體技術、等離子體源、等離子體物理和等離子體化學方面的研發(fā)。

加入中微之前，他曾在Lam Research公司新產品部門擔任主要技術專家，并是Lam2300系列刻蝕產品的發(fā)明者之一。

倪圖強博士本科畢業(yè)于中國科學技術大學，之后在德州大學達拉斯校區(qū)獲得了化學博士學位。

作為資深行業(yè)人士和中微公司創(chuàng)立者之一，James主要領導工程技術部門的發(fā)展，負責中微產品研發(fā)過程中的軟件開發(fā)、電氣控制和平臺建立與維護。
在2004年加入中微之前，James曾在應用材料公司擔任軟件工程主管。1995年加入應用材料公司之后，James擔任過一系列工程管理職位，并負責公司最成功的PVD產品的軟件開發(fā)和支持。
James于西安交通大學獲得了電機工程學士學位和碩士學位。在赴美工作之前，曾在西安交通大學人工智能和機器人學院任教七年。

作為中微副總裁暨大中華事業(yè)群總經理，朱新萍先生極大地推動了中微在該地區(qū)的銷售、客戶服務和應用支持等方面的發(fā)展。

朱新萍先生在半導體行業(yè)工作近二十年。加入中微之前，他曾擔任臺灣應用材料公司（Applied Materials）高級經理一職。該期間，他曾任多項職務，涉及技術開發(fā)、客戶支持和市場營銷等領域。在加入應用材料之前，他曾在華邦電子（Winbond）和臺灣世大集成電路（WSMC）工作，主要負責程序開發(fā)和產量提高。

朱新萍先生畢業(yè)于臺灣國立成功大學，并獲得了工程學學士學位。

加入中微公司之前，劉身健博士在日本和美國等離子刻蝕領域工作20多年，在反應器核心技術、先進工藝應用開發(fā)、產品市場化及滿足客戶需求方面有極其豐富的經驗。他曾在等離子體刻蝕領先廠商泛林研究公司擔任重要職位、與全球各大芯片制造的顧客合作開發(fā)應用技術，改進設備性能，在業(yè)界有很好的信譽。

劉身健博士于1985年獲得北京理工大學獲學士學位，后于日本名古屋大學獲工學博士學位。